1.極限真空不高及其消除
（1） 油位太低，有較大排氣聲，可加入清潔的真空泵油。
（2） 泵油為可凝性蒸汽所污染，可開氣鎮凈化或更換新油。
（3） 泵口外接管道、容器、測試儀表管道、接頭等漏氣。大漏時，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應找出漏氣部位，進行消除。
（4） 進氣咀或氣鎮閥橡膠密封圖裝配不當，損壞或老化，應調整或更換。
（5） 進油咀油孔堵塞，可拔出進油咀，疏通油孔。
（6） 真空系統嚴重污染，包括容器、管道等，應予清洗。
（7） 旋片彈簧折斷，應予調換。
（8） 旋片、泵身或蓋磨損，間隙過大，應進行檢查，修整或調換。
（9） 泵溫過高，應改善通風和冷卻。如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻后再進入泵內。
2.噴油
（1） 油位過高，可入出多余油量。
（2） 減霧器中有泵油或雜物，應清除。
3.漏油
放油螺塞，油箱墊片損壞或裝配不當，螺釘擰緊；
油標未擰緊，有機玻璃過熱變形；
泵身部件與支座的連接摯墊片未墊好；
油封裝配不當或磨損；應予調整或更換。
4.噪聲
（1） 旋片彈簧折斷，可調換彈簧。
（2） 有毛刺、臟物或變形，運轉發生障礙，應檢查修磨清洗。
（3） 軸承磨損，零件磨損。應修整或更換。
（4） 電機出毛病，應進行檢查。
5.返油
(1) 止回閥未關好，停泵后，油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開檢查。
(2) 兩泵蓋內油封裝配不當或磨損，可進行調換。
(3) 泵蓋或泵身平面不平整，可進行修整。
(4) 排氣閥片損壞，應進行調換。
注：
檢查泵的極限真空，以壓縮式水銀真空計為準。
